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首页-产品系统--纳米压印配套设备-GL MegaClean单片式兆声波清洗设备
产品型号:
简要描述:GL MegaClean单片式兆声波清洗设备基材尺寸大300mm直径以下圆片清洗;单片扫描式毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗。
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纳米压印配套设备
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详细介绍
GL MegaClean单片式兆声波清洗设备主要用于晶圆清洗等工艺。
GL MegaClean单片式兆声波清洗设备主要功能
●基材尺寸大300mm直径以下圆片清洗
●单片扫描式毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗
●适用于清洗纳米压印基材表面
●适用于母模具表面无损清洗(兆声波清洗)
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型号:
0532-67769322
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